Kawasaki Cleanroom NX540

В очікуванні надходження

Інформація
Специфікації

3-контактна NX540, жорстка конструкція з однією рукою, яка може легко досягати ступенів пластин з високопродуктивним простором 300 вафлів на годину (WPH) від FOUP до вирівнювача, а потім до стадії з подвійним маніпулятором, відповідає стандартам ISO Class 1, стандартною системою SEMI-F47 негайного рішення щодо падіння напруги та перезапуску автоматичної системи при відновленні напруги, стандартному захисті SEMI-S2 до навколишнього середовища, до особистої безпеки, системі проти зіткнення

Контролер D

D контролери призначені для розробки програм для чистого приміщення, що включає повний цифровий сервопроцесор, стандартний порт Ethernet, компактний відтік, гнучке розроблення різного програмного забезпечення, незалежна робота двох рук і багатоосьового управління, однорідні сервоусилителі для всіх осей, стандарти екологічного захисту , здоров'я та безпека SEMI S2, біла кімната ISO 1.

Специфікація контролера D60

Серво повна цифрова система
Контрольовані осі: максимум 7 осей
Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
Обладнання: RS232C x 1 Ethernet.
Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
Вхідний сигнал: максимум 16 каналів.
Вихідний сигнал: Максимум 8 каналів
Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV

Специфікація контролера D61

Серво повна цифрова система
Контрольовані осі: максимум 12 осей
Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
Обладнання: RS232C x 2 Ethernet.
Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
Вхідний сигнал: максимум 96 каналів
Вихідний сигнал: максимум 80 каналів
Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV

Основні технічні характеристики

Кількість осі: 4
Клас ISO 1
Посилання: 3
Повторюваність: ± 0.25 мм
Контролер: D60 / D61

Діапазон руху (°)

осі θ (обертання JT2)	318 °
осі θ (обертання JT2)	440 мм
Ось Z (вгору JT3)	1,232 мм
Ось Z (вгору JT3)	336 °
Вісь X (в / з JT4)
Вт осі - нижня (обертання JT6)	-
Вт ось - верхня (обертання JT7)

Роботові програми

Чиста кімната

Області застосування

Обробка деталей , Збірка деталей

Зображення

Діаграми