Kawasaki Cleanroom NT410

В очікуванні надходження

Роботи NT серії NT, розроблені для застосування в чистому приміщенні NT410 з однією рукою, можуть досягати чотирьох FOUP, які забезпечують стандартну продуктивність 280 вафлів на годину (WPH) з вирівнювачем і 400 Вт / с без вирівнювання. Програмне та апаратне забезпечення обладнані функціями виявлення зіткнень та відповідають вимогам стандарту SEMI F47, а також стандартам SEMI S2 щодо захисту навколишнього середовища, здоров'я та безпеки.

Контролер D
D контролери призначені для розробки програм для чистого приміщення, що включають повний цифровий сервопроцесор, стандартний порт Ethernet, компактний відтік, гнучке розроблення різного програмного забезпечення, незалежне керування двома руками та багатоосьовим управлінням, однорідні сервоусилителі для всіх осей, стандарти для навколишнього середовища, здоров'я та безпека SEMI S2, біла кімната ISO 1.
Технічні характеристики контролера D60
  • Серво повна цифрова система
  • Контрольовані осі: максимум 7 осей
  • Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
  • Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
  • Обладнання: RS232C x 1 Ethernet.
  • Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
  • Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Вхідний сигнал: максимум 16 каналів.
  • Вихідний сигнал: не більше 8 каналів
  • Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Специфікація контролера D61
  • Серво повна цифрова система
  • Контрольовані осі: максимум 12 осей
  • Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
  • Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
  • Обладнання: RS232C x 2 Ethernet.
  • Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
  • Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Вхідний сигнал: максимум 96 каналів
  • Вихідний сигнал: максимум 80 каналів
  • Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Основні технічні характеристики
 
Кількість осі: 4
Максимум l: до 1230 мм
Повторюваність: ± 0,1 мм (центр вафель)
Контролер: D60 / D61
 
Діапазон руху (°)
 
Ось θ1 (обертання JT2): 340 °
Ось Z (вгору-вниз JT3): 400 мм
Ось θ2 (обертання JT4): 340 °
Ось H1 (обертання JT6): 340 ° (380 °) комоп
Ось Н2 (обертання JT7): -
 
Роботові програми
 
Чиста кімната

Області застосування

Обробка деталей , Збірка деталей

Зображення

Діаграми