Чиста кімната Kawasaki NS510
Роботи NS серії NS, призначені для застосування в чистому приміщенні NS510 (однією рукою) з рухом RTZ з додатковою довжиною лінійної осі для додаткового діапазону FOUP. Вони забезпечують високу продуктивність при обробці 300 мм пластин. Програмне та апаратне забезпечення обладнано функціями виявлення зіткнень та відповідають стандартам SEMI F47, а також стандартам SEMI S2 щодо захисту навколишнього середовища, здоров'я та безпеки.
Контролер D
D контролери призначені для розробки програм для чистого приміщення, що включає повний цифровий сервопроцесор, стандартний порт Ethernet, компактний відтік, гнучке розроблення різного програмного забезпечення, незалежна робота двох рук і багатоосьового управління, однорідні сервоусилителі для всіх осей, стандарти екологічного захисту , Здоров'я та безпека
SEMI S2, біла кімната ISO 1.
Специфікація контролера D60
- Серво повна цифрова система
- Контрольовані осі: максимум 7 осей
- Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
- Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
- Обладнання: RS232C x 1 Ethernet.
- Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
- Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Вхідний сигнал: максимум 16 каналів.
- Вихідний сигнал: Максимум 8 каналів
- Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Специфікація контролера D61
- Серво повна цифрова система
- Контрольовані осі: максимум 12 осей
- Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
- Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
- Обладнання: RS232C x 2 Ethernet.
- Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
- Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Вхідний сигнал: максимум 96 каналів
- Вихідний сигнал: максимум 80 каналів
- Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Основні технічні характеристики
Кількість осі: 3
Клас ISO 2
Повторюваність: ± 0,1 мм (центр вафель)
Контролер: D60 / D61
Клас ISO 2
Повторюваність: ± 0,1 мм (центр вафель)
Контролер: D60 / D61
Діапазон руху (°)
Вісь Y (подорож JT1): -
осі θ (обертання JT2): 360 °
Ось Z (вгору-вниз JT3): 440 мм
Ось X (вгору вниз JT4): 598 мм
Ось F (обертання JT5): -
осі θ (обертання JT2): 360 °
Ось Z (вгору-вниз JT3): 440 мм
Ось X (вгору вниз JT4): 598 мм
Ось F (обертання JT5): -
Роботові програми
Чиста кімната
Області застосування
Зображення
Діаграми