Чиста кімната Kawasaki NS420

В очікуванні надходження

Роботи NS серії NS, призначені для застосування чистого приміщення NS420 (подвійна рука) з рухом RTZ з додатковою довжиною лінійної осі для додаткового діапазону FOUP. Вони забезпечують високу продуктивність при обробці 300 мм пластин. Програмне та апаратне забезпечення обладнано функціями виявлення зіткнень та відповідають стандартам SEMI F47, а також стандартам SEMI S2 щодо захисту навколишнього середовища, здоров'я та безпеки.

Контролер D
 
D контролери призначені для розробки програм для чистого приміщення, що включає повний цифровий сервопроцесор, стандартний порт Ethernet, компактний відтік, гнучке розроблення різного програмного забезпечення, незалежна робота двох рук і багатоосьового управління, однорідні сервоусилителі для всіх осей, стандарти екологічного захисту , здоров'я та безпека SEMI S2, біла кімната ISO 1.
 
Специфікація контролера D60
  • Серво повна цифрова система
  • Контрольовані осі: максимум 7 осей
  • Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
  • Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
  • Обладнання: RS232C x 1 Ethernet.
  • Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
  • Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Вхідний сигнал: максимум 16 каналів.
  • Вихідний сигнал: Максимум 8 каналів
  • Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Специфікація контролера D61
  • Серво повна цифрова система
  • Контрольовані осі: максимум 12 осей
  • Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
  • Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
  • Обладнання: RS232C x 2 Ethernet.
  • Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
  • Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
  • Вхідний сигнал: максимум 96 каналів
  • Вихідний сигнал: максимум 80 каналів
  • Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Основні технічні характеристики
 
Кількість осі: 4
Клас ISO 2
Повторюваність: ± 0,1 мм (центр вафель)
Контролер: D60 / D61
 
Діапазон руху (°)
 
Ось Y (подорож JT1): 2 FOUP: 660 мм / 3 FOUP: 1070 мм / 4 FOUP: 1670 мм
вісь θ (обертання JT2): 325 °
Ось Z (вгору-вниз JT3): 380 мм
Ось X (вгору вниз JT4): X1: 646,8 мм, X2: 646,8 мм
Ось F (обертання JT5): -
 
Роботові програми
 
Чиста кімната

Області застосування

Транспортировка деталей , Сборка деталей

Зображення

Діаграми