Чиста кімната Kawasaki NS410
Роботи NS серії NS, розроблені для застосування в чистому приміщенні NS410 (тільки вручну) з рухом RTZ з додатковою довжиною лінійної осі для додаткового діапазону FOUP. Вони забезпечують високу продуктивність при обробці 300 мм пластин. Програмне та апаратне забезпечення обладнано функціями виявлення зіткнень та відповідають стандартам SEMI F47, а також стандартам SEMI S2 щодо захисту навколишнього середовища, здоров'я та безпеки.
Контролер D
D контролери призначені для розробки програм для чистого приміщення, що включає повний цифровий сервопроцесор, стандартний порт Ethernet, компактний відтік, гнучке розроблення різного програмного забезпечення, незалежна робота двох рук і багатоосьового управління, однорідні сервоусилителі для всіх осей, стандарти екологічного захисту , здоров'я та безпека SEMI S2, біла кімната ISO 1.
Специфікація контролера D60
- Серво повна цифрова система
- Контрольовані осі: максимум 7 осей
- Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
- Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
- Обладнання: RS232C x 1 Ethernet.
- Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
- Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Вхідний сигнал: максимум 16 каналів.
- Вихідний сигнал: не більше 8 каналів
- Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Специфікація контролера D61
- Серво повна цифрова система
- Контрольовані осі: максимум 12 осей
- Ручне, напівавтоматичне, повністю автоматичне навчання.
- Зовнішня аварійна зупинка, біля безпеки, зовнішня зупинка.
- Обладнання: RS232C x 2 Ethernet.
- Програмне забезпечення: K-Utility (оригінальна команда зв'язку Kawasaki для чистих роботів).
- Енергія: напруга: однофазний, AC208 V ± 10%, 50/60 Гц. Стандарт: SEMI F47.
- Вхідний сигнал: максимум 96 каналів
- Вихідний сигнал: максимум 80 каналів
- Сумісні серії роботів: NS, NT, NX, TT, TX і NV
Основні технічні характеристики
Кількість осі: 3
ISO Clase 2
Повторюваність: ± 0,1 мм (центр вафель)
Контролер: D60 / D61
ISO Clase 2
Повторюваність: ± 0,1 мм (центр вафель)
Контролер: D60 / D61
Діапазон руху (°)
Ось Y (подорож JT1): 2 FOUP: 660 мм / 3 FOUP: 1070 мм / 4 FOUP: 1670 мм
ось θ (обертання JT2): 380 °
Ось Z (вгору-вниз JT3): 380 мм
Ось X (вгору-вниз JT4): 710 мм
Ось F (обертання JT5): -
ось θ (обертання JT2): 380 °
Ось Z (вгору-вниз JT3): 380 мм
Ось X (вгору-вниз JT4): 710 мм
Ось F (обертання JT5): -
Роботові програми
Чиста кімната
Області застосування
Зображення
Діаграми